二手 KOKUSAI CX-3000 #293762964 待售
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ID: 293762964
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Diffusion furnace, 12"
P/N: DJ-1206V -DF
Process: SI3N4
Main controller: CX3010 / CX3010B
Power supply: 100V, 1 Phase / 400 V, 3 Phase
2007 vintage.
KOKUSAI CX3000是一種最先進的擴散爐,設計用於在生產環境中對半導體晶片進行精確、均勻的熱處理。KOKUSAI CX-3000是一個用途廣泛的平臺,能夠處理各種工藝氣體和溫度,使其非常適合各種應用,包括摻雜、氧化和退火。CX3000的主要特點之一是高度自動化和過程控制。爐子配有先進的溫度控制系統,確保工藝室內的溫度均勻性,產生一致且可重復的處理結果。該爐還設計用於最大限度地減少晶圓處理和減少汙染風險,從而提高工藝產量和提高設備性能。CX-3000配有各種氣體處理系統,可精確控制摻雜劑、氧化劑和惰性氣體等加工氣體。該爐可以在廣泛的壓力和流量範圍內運行,允許根據應用的具體要求進行靈活的工藝優化。此外,該爐的設計目的是盡量減少氣體消耗,減少對環境的影響,使其成為半導體制造的可持續選擇。除了先進的過程控制功能外,KOKUSAI CX3000還設計用於易於維護和維修。該爐采用模塊化設計,可輕松訪問關鍵部件,減少停機時間並提高生產率。該爐還配備了監測和診斷系統,對工藝參數提供實時反饋,從而能夠快速識別和解決問題。KOKUSAI CX-3000還兼容了一系列配件和升級,進一步提升了它的能力。其中包括用於快速熱處理的選項、額外的工藝氣體模塊以及先進的晶圓處理系統。這些配件允許對爐子進行定制,以滿足不同應用的獨特需求,使CX3000成為半導體制造的高度適應性的工具。總體而言,CX-3000是一個強大而靈活的擴散爐,提供先進的工藝控制、高可靠性和易於維護。KOKUSAI CX3000具有多種多樣的功能和與一系列附件的兼容性,對於希望在生產環境中實現高性能處理結果的半導體制造商來說,它是一個經濟高效的解決方案。
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