二手 KOKUSAI CX-3000 #293762989 待售

KOKUSAI CX-3000
ID: 293762989
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Diffusion furnace, 12" P/N: DD-1223V Process: BIO Main controller: CX3010 / CX3010B Power supply: 208V, 1 Phase / 440 V, 3 Phase 2005 vintage.
KOKUSAI CX3000是為先進的半導體制造工藝而設計的最先進的擴散爐。該工具具有精確控制和高吞吐量功能,為制造尖端半導體器件提供卓越的性能和可靠性。主要功能:1.高溫均勻性:KOKUSAI CX-3000具有堅固的加熱系統,可確保整個工藝室的溫度均勻性。這對於在半導體加工中取得一致和可靠的結果至關重要。2.氣流控制:該工具配備了先進的氣流控制機制,能夠對過程氣體進行精確管理。這確保了擴散過程中的最佳化學反應和均勻性。3.多區供暖:CX3000設有多個供暖區,可在擴散過程中進行精確的溫度分析。這使用戶能夠定制熱輪廓以滿足特定的工藝要求。4.快速加熱和冷卻:該爐能夠快速加熱和冷卻循環,便於快速過渡過程並縮短整體處理時間。這對於高通量制造環境至關重要。5.流程靈活性:CX-3000提供了廣泛的流程功能,使其適合各種擴散應用。無論是摻雜劑擴散、氧化、退火,還是其他熱工藝,這種工具都能滿足多樣化的制造需求。6.用戶友好界面:該工具具有直觀的用戶界面,便於操作和監控擴散過程。操作員可以輕松地對配方進行編程,監控流程參數,並根據需要進行調整。7.堅固的構造:KOKUSAI CX3000采用高質量的材料和部件,確保耐用性和長期可靠性。此工具旨在承受半導體制造環境的嚴酷,並隨時間推移提供一致的性能。配件:除了爐子本身之外,KOKUSAI CX-3000還配有一系列增強其功能和可用性的配件。這些配件可能包括:1.氣體輸送系統:精密氣體輸送系統,能夠在擴散過程中準確控制過程中的氣體。2.溫度傳感器:高精度溫度傳感器,用於監視和控制工藝室內的熱特性。3.裝載系統:機械或機器人裝載系統,便於晶片裝載和卸載,簡化制造過程。4.流程監控工具:提供流程參數實時數據的高級監控工具,使操作員能夠做出明智的決策並優化流程性能。總體而言,CX3000擴散爐及其附件為半導體制造商尋求其制造工藝的高性能和可靠設備提供了一個全面的解決方案。CX-3000具有先進的特性、工藝靈活性和用戶友好的設計,是實現精確高效的半導體制造操作的寶貴工具。
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