二手 KOKUSAI CX-3000 #293763013 待售

KOKUSAI CX-3000是一種最先進的擴散爐，設計用於在受控大氣中對半導體材料進行高溫處理。這種通用工具提供精確的溫度控制、均勻的加熱分布以及各種配件，以滿足先進半導體制造工藝的需求。KOKUSAI CX3000的核心是一個堅固的垂直爐室，配有多個加熱區和氣體分配通道。爐膛被封閉在溫度控制的環境中，以確保即使在極端溫度下也能穩定運行。加熱元件由優質材料制成，能承受長時間暴露在惡劣的工藝條件下，而不會影響性能。CX-3000能夠達到高達1200 °C的溫度，使其適合廣泛的擴散過程，包括氧化、退火和摻雜。精確的溫度控制系統允許用戶在整個過程中對溫度曲線進行編程和監控，確保晶圓處理的可重復性和一致性。為提高CX3000的性能和靈活性，提供各種附件，包括氣流控制器、真空泵和晶片加載系統。氣流控制器調節過程氣體進入腔室的流量，從而能夠精確控制過程大氣和反應動力學。真空泵用於在腔室內創造低壓環境，這對於某些需要降低氧氣含量或改善膜質量的過程至關重要。晶片加載系統允許將晶片高效裝卸到爐膛中，最大限度地減少停機時間，提高生產率。該系統具有用戶友好的界面，使操作員能夠方便地同時加載和卸載多個晶片，減少汙染風險，並確保所有晶片的統一處理。除了先進的技術能力外，KOKUSAI CX-3000的設計考慮了用戶的便利和安全。爐房設有多種安全功能，包括過熱防護、氣體泄漏檢測、緊急停車按鈕等，以防事故發生，確保操作過程中操作員安全。總體而言，KOKUSAI CX3000擴散爐及其附件為先進的半導體加工需求提供了全面的解決方案。憑借其高溫能力、精確控制系統和通用配件，CX-3000是研發實驗室、半導體制造設施和其他需要精確可靠擴散過程的行業的通用工具。