二手 KOKUSAI CX-3000 #293792547 待售
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ID: 293792547
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Diffusion furnace, 12"
Part number: DD-1223V-DF
Process: AR Anneal
2007 vintage.
KOKUSAI CX3000是一種先進的擴散爐設備,設計用於半導體制造中矽晶片的精確可靠的熱處理。這套通用且高度自動化的系統提供了高級特性和功能,以滿足半導體行業的嚴格要求。KOKUSAI CX-3000設有水平管式爐,為擴散過程提供受控且均勻的熱環境。該裝置能夠支持氧化、擴散、退火和沈積等各種工藝,使其成為先進半導體制造的通用工具。CX3000的一個關鍵特點是其先進的溫度控制機,確保整個過程的精確和穩定的熱剖面。該工具配備了多個加熱區和熱傳感器,以高精度監測和控制溫度。這樣可以實現最佳的過程控制和可重復性,從而確保晶片和批次的結果一致。除了溫度控制外,CX-3000還提供一系列氣體流動和混合能力,用於精確的過程氣體輸送。該資產配備了用於準確控制氣體流量的質量流量控制器,以及用於創建定制氣體大氣的氣體混合能力,以適應特定的工藝要求。這一級別的控制使用戶能夠在晶圓表面實現精確的工藝條件和均勻性。KOKUSAI CX3000還具有用戶友好界面和直觀的軟件控制,以便於操作和監控過程。該模型可以用各種流程配方和參數進行編程,允許用戶在最少的人工幹預下輕松設置和運行不同流程。此外,該設備還配備了先進的數據記錄和分析能力,用於實時監測和流程優化。在安全性和可靠性方面,KOKUSAI CX-3000設計具有堅固的安全功能,以確保操作員的保護和設備的完整性。該系統配備了安全聯鎖、氣體檢測傳感器和緊急關機能力,以防止事故發生,確保安全的操作環境。此外,該設備采用高質量的組件和材料來制造,以確保長期的可靠性和性能。為了提高生產率和效率,CX3000采用模塊化配置進行設計,以便於與其他流程設備和自動化系統集成。機器可以定制各種配件和選項,以滿足特定的工藝要求和生產需求。這種可擴展性和靈活性使CX-3000成為研發和高容量生產環境的理想解決方案。總體而言,KOKUSAI CX3000擴散爐工具為要求苛刻的半導體加工應用提供了最先進的技術、先進的功能和強大的性能。KOKUSAI CX-3000具有精確的溫度控制、氣流管理、用戶友好的界面和安全功能,為在不斷發展的半導體行業中實現高質量的半導體器件提供了可靠高效的解決方案。
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