二手 KOKUSAI CX-5000 #293762572 待售

KOKUSAI CX-5000是專門為生產半導體元件而設計的擴散爐及配件。它為生產高度復雜的設備提供了高水平的效率和精確度。CX-5000基於垂直擴散爐設計，為半導體元件的生產提供了最佳的溫度分布範圍。模塊化的設計可以同時應用低溫和高溫操作，同時也提供了極好的安全性和控制性。此外，爐子還配有各種爐子配件，可提高自動化程度和精度。該爐配有高溫和低溫過程雙區控制器。這為用戶提供了更大範圍的處理功能以及對處理條件的精確控制。該爐還配備了安全關閉功能，當溫度超過預設限值時可以啟動。這樣可以確保操作安全並防止部件過熱。KOKUSAI CX-5000的設計支持厚度從0.2微米到0.6微米的結構，使其成為制造具有嚴格控制的熱剖面的小型設備的理想選擇。該設備配有集成的多區域時鐘系統，可實現植入過程的精確定時和同步。此外,CX-5000可以通過可編程的啟動和結束溫度設置實現完全自動化,從而在眾多基板上實現一致的、可重復的結果。該裝置具有先進的功能，如自動氣流機，可配置為最佳的溫度均勻性以及壓力調節和凈化控制。其他功能包括通過以太網和RS-232接口訪問遠程監視和控制,以及基於PC的數據日誌記錄。最後,KOKUSAI CX-5000旨在為各種生產過程提供必要的靈活性。CX-5000利用石英、SiC、SiNx和聚矽氮烷等多種材料進行定制和工藝優化。KOKUSAI CX-5000支持多種可控參數,並為流程工程師提供了多種定制選項。這使得它成為生產復雜設備的理想選擇。