二手 KOKUSAI CX-5000 #293762574 待售

KOKUSAI CX-5000是為包括擴散在內的先進熱處理而設計的擴散爐及配件。該爐設備非常適合矽沈積和矽化外延等應用。CX-5000具有全過渡金屬熱壁熱處理能力,能夠在嚴格的溫度和時間控制下完成高通量過程。KOKUSAI CX-5000的核心是其垂直石英熱壁爐。該爐采用電磁控制紅外輻射加熱器，允許精確的溫度和過程控制。該平臺專為最大的工藝吞吐量而設計,其快速的熱循環時間和溫度均勻性在晶圓上達到1-2°C。CX-5000設計具有靈活性,可輕松定制,以適應任何類型的擴散過程或層傳輸。五種矽基板可用於擴散，系統還附有氣體摻雜和CVD的集成氣體噴射器單元。該套件包括高效且用戶友好的軟件套件。這使得研究人員能夠對機器進行遠程編程和監控，從而無需手動控制和觀察。KOKUSAI CX-5000與JGRC的EXPERT工具（實驗模式路由資產）完全兼容，允許用戶向熔爐發送實驗設計進行自動執行。CX-5000具有用於高級熱處理的各種其他安全和便利功能,包括自動自我診斷、EMI和RoHS認證組件,以及內置的熱切斷功能。總體而言，KOKUSAI CX-5000是一種最先進的擴散爐和配件，設計用於先進的熱處理的最佳精度和可靠性。它非常適合需要精確溫度和時間控制的用戶,以及希望最大限度地提高流程吞吐量和靈活性的用戶。