二手 KOKUSAI CX-5000 #293762578 待售
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ID: 293762578
晶圓大小: 12"
優質的: 2012
Diffusion furnace, 12"
Part number: DJ-1206V -DF
Process: SIO2
Main controller: KDSC
Power supply: 120 V, 1 Phase / 480 V, 3 Phase
2012 vintage.
KOKUSAI CX-5000擴散爐是一種設計用於快速熱處理(RTP)和其他高溫擴散過程的高溫爐。CX-5000使用真空超高溫(VUHT)腔室來擴展高溫過程的深度和均勻性,將加工範圍從1,000°C增加到1,650°C。KOKUSAI CX-5000采用垂直載荷的3端口設計,並使用非氧化絕緣系統提供快速的熱傾斜。該爐為用戶提供了大規模擴散過程的最大靈活性和控制,使高純度材料中的熱應力最小化,從而實現了高質量的結果。CX-5000采用高級功能進行設計和構建,為用戶提供了一個針對高需求擴散過程的真正強大的解決方案。先進的腔室設計裝有擴散板,以確保溫度的均勻性,用戶友好的界面允許用戶定制配方,以最大程度地控制過程。集成的氣體混合器可實現精確的氣體大氣控制,而自動冷卻功能可在需要時實現快速、有效的冷卻。此外,該腔室的靈活使用使高密度產品能夠同時退火或快速熱處理和擴散處理。KOKUSAI CX-5000的其他功能包括實時顯示溫度和壓力數據、用於一致熱輸出的微處理器控制電源系統以及確保溫度不會超調的冷卻保護系統。這些功能共同幫助用戶實現其擴散過程的最佳結果,並最大限度地減少散熱,從而減少浪費並最大限度地提高效率。此外,CX-5000的小巧尺寸和模塊化設計使其易於安裝並與現有系統集成。KOKUSAI CX-5000擴散爐是任何規模高溫擴散過程的可靠、經濟的解決方案。憑借其先進的功能、靈活的使用和緊湊的設計,CX-5000是一個強大的工具,可實現一致、高質量的結果,且浪費最少。
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