二手 KOKUSAI CX-5000 #293762973 待售

KOKUSAI CX-5000是為高性能薄膜沈積和退火能力而設計的擴散爐及附件包。它是一種多功能設備，具有出色的溫度控制和精確度，以及易於使用的操作控制。該裝置還為廣泛的薄膜沈積和工藝應用提供了大量預先編程的溫度。CX-5000由高性能薄膜沈積室和高溫退火滅火室組成。薄膜沈積室設計用於將氧化物、氮化物和金屬薄膜沈積在多種底物上。該室具有10-5torr的超高真空水平和節能的電熱石英加熱器和電阻加熱器系統。它還有一個內置氣體進氣裝置，用於在沈積過程中引入反應性氣體。退火室設計用於較高溫度的過程，通常高達1350℃。它提供了兩速率加熱過程，使溫度上升和下降更清晰，同時具有極好的溫度均勻性和可重復性。熄滅機還具有自動開蓋器/關閉器和一系列預先編程的冷卻時間。KOKUSAI CX-5000還具有全套附件,包括負載鎖、過程控制器和氣體進料系統。載荷鎖的設計允許在腔室之間快速更換基板。這樣可以減少采樣時間,使操作員能夠快速切換采樣並減少處理時間。工藝控制器的設計是為工藝提供精確的溫度和時間控制。這使操作員能夠輕松編程和監控溫度上升速率、沈積時間和退火時間等過程變量。此外,CX-5000還包括多種安全功能,以確保操作員的安全。例如，安全電路包括一個過溫截止開關和過電過壓報警器。而且，該部隊還配備了幾個安全聯鎖裝置，以防止意外失控的過程。總體而言，KOKUSAI CX-5000是一種可靠、堅固的擴散爐和退火室，具有執行各種薄膜沈積和退火工藝的靈活性。