二手 KOKUSAI CX-5000 #293762975 待售

KOKUSAI CX-5000
ID: 293762975
晶圓大小: 12"
優質的: 2011
Diffusion furnace, 12" Part number: DJ-1206VN -DF Process: TiN Main controller: KDSC Power supply: 120 V, 1 Phase / 480 V, 3 Phase 2011 vintage.
KOKUSAI CX-5000是一種高性能的擴散爐,可以實現高效率的加工。爐子配有一系列配件,可以精確和復雜地處理底物化學。CX-5000提供多種功能以確保最大效率和利用率。其中包括1400 °C的高溫能力、17.5KW的熱容量和快速退火的快速加熱性質。寬廣的溫度範圍允許精確的溫度控制,高熱容量提供更高的工藝輸出。內置節能功能包括備用模式,允許在機器閑置時將能耗降至最低。其他電容選項,如先進的坡道控制和數字處理參數,以微調工藝設置,以及多設施顯示確保最精細的生產過程。該爐采用雙室結構,有多個隔室。它由304塊不銹鋼構成,具有優異的耐腐蝕性、剛性和耐用性。爐子的下室集中了均勻的等離子體,而上部的高溫室則是擴散過程發生的地方。爐子配有全系列配件,保證最佳擴散處理。其中包括專業的保護性大氣發生器、熱電偶讀取器、清洗系統、樣品保存器和高溫自動進紙器。在安全方面,KOKUSAI CX-5000符合環保和勞動安全的最新安全規定。它提供多種保護功能,以及用於在緊急情況下快速關閉控制的液晶屏緊急停止按鈕。集成保護門也顯著降低了風險。CX-5000具有堅固的結構、寬廣的溫度範圍、節能能力和先進的配件選擇,是擴散加工的理想爐。其精確和全面的工具可實現高水平的控制,確保最高質量的擴散處理。
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