二手 KOKUSAI CX-5000 #293762977 待售

KOKUSAI CX-5000擴散爐是一種先進的精密儀器，旨在實現高性能半導體制造中各種擴散過程的精確控制和自動化。它具有全自動粉末填充和集成的CVD腔室.這種單室爐的建造是為了提供更精確的溫度控制和均勻的加工。CX-5000具有可調高溫區和先進的強制空氣冷卻裝置，以安全去除粉末。加工的優化溫度範圍約為815 °C-1150 °C，可以調整以提供精確的基板溫度。KOKUSAI CX-5000設計有多種控件和設置,以適應針對特殊處理要求的精確設置。從外部計算機接收命令,CX-5000帶有自動化啟用的多步驟程序（MS模式）以及其他可預編程的流程選項。KOKUSAI CX-5000還帶有精確的石英熱傳感器和通過PID控制的自動自校正功能，允許穩定和精確的溫度控制。該爐包括多區能力，即使使用大型基板也能提供精確的均勻性。CX-5000還有一個活化氣體壓力控制系統，保證可靠和安全的過程和結果。可以通過以太網連接遠程檢查各種爐的溫度控制，提供軟件支持和集成服務。KOKUSAI CX-5000還配備了高性能過濾系統和高級報警互鎖功能。CX-5000擴散爐是一個先進可靠的系統,提供精確、均勻的擴散處理.其高溫和自動化能力非常適合各種高性能半導體制造和加工應用。