二手 KOKUSAI CX-5000 #293762978 待售

KOKUSAI CX-5000
ID: 293762978
晶圓大小: 12"
優質的: 2008
Diffusion furnace, 12" Part number: DJ-1206VN -DF Process: SI3N4 Main controller: KDSC Power supply: 120 V, 1 Phase / 480 V, 3 Phase 2008 vintage.
KOKUSAI CX-5000是一種用於各種基板精確熱控制的擴散爐及輔助設備。CX-5000的工作原理是驅動高精度加熱器、氣體噴射源和冷卻風扇,始終如一地創造最佳的熱環境,以鼓勵元素在基板內擴散。KOKUSAI CX-5000采用鉛塊和陶瓷纖維加熱熱區。CX-5000升級後的雙端供暖系統能夠達到高達1300攝氏度的溫度,同時保持± 5攝氏度的溫度均勻性。KOKUSAI CX-5000設計用於處理尺寸不超過400mm的大型基板,以及尺寸不超過25mm的小型基板。CX-5000提供了一個自動化的機構冷卻裝置,以準確控制冷卻速度,最大產量的產品。在氣體噴射擴散應用方面,KOKUSAI CX-5000采用先進的TotalFlow II自動氣體噴射機。使用TotalFlow II,用戶可以從機器的前面板調節氣體濃度。此外,TotalFlow II工具允許精確控制流量速率-從0.001Slm到0.0005Slm。CX-5000還提供了高度智能化的多通道PID溫度控制資產,確保了整個熱區的最佳均勻熱分布。KOKUSAI CX-5000的設計考慮到安全性,這要歸功於其傳感器和功能的全面模型,包括「氣體泄漏傳感器」、「安全警報」和「溫度過高警報」。此外,由於其功能豐富的可編程用戶信息安全設備,可以確保用戶安全使用CX-5000。總體而言,KOKUSAI CX-5000是要求苛刻的樣品和最先進的研發應用的理想選擇。CX-5000具有卓越的精度和性能,在生產中提供了無與倫比的可靠性,非常適合所有擴散應用。
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