二手 KOKUSAI CX-5000 #293762979 待售

KOKUSAI CX-5000是一種用途廣泛、高效的擴散爐，用於與制造半導體器件有關的廣泛應用，包括熱氧化、退火和擴散過程。它最多可以支撐包括各種晶片、SOI和玻璃基板在內的三維基板。該爐的制造具有柔韌性和優異的工藝性能.它兼具快速熱氧化（RTO）和快速熱退火（RTA）。RTO允許晶片表面層氧化，而RTA能夠退火熱易碎的基板。這兩種工藝在基板溫度和工件溫度上均具有很好的均勻性。CX-5000采用三室/雙區設計。這為單個組件提供了單獨的溫度區域以及最佳控制。采用先進的氣流模型來保證進入反應室的氣體的均勻性和均勻性。這三個腔室被安置在一個氣密的外殼中，能夠保持正壓並確保高純度的加工氣體。溫度控制設備由伺服驅動的機構組成，該機構擁有一系列傳感器，用於測量和控制溫度、壓力和氧氣濃度等參數。KOKUSAI CX-5000有各種各樣的附件,包括預熱區（PHZ）模塊、配置文件監控模塊、多自旋模塊和高級排氣系統。預熱區是確保加工室內溫度分布均勻所必需的。型材監測儀用於測量氧化和擴散過程中的溫度型材。多自旋模塊允許使用多個晶圓對腔室進行更高的負載。先進的排氣系統設計為在腔室大氣和排氣流中保持高度純度。先進的CX-5000控制系統對溫度、壓力、氧氣濃度等關鍵參數提供精確可靠的控制，確保了優越、可重復的工藝效果。它可以與計算機連接,以便遠程控制進程並進行遠程數據收集。該單元還包括溫度超調檢測和壓力控制等安全功能。總體而言，KOKUSAI CX-5000是一種先進高效的擴散爐，具有良好的均勻性和工藝可靠性。它采用了廣泛的配件，為各種擴散過程提供了一個真正通用和優越的機器。此外，CX-5000擴散爐設計方便操作和維護。它易於校準和調試,其模塊化設計確保維護簡單明了。該設計還可以方便地升級硬件組件或根據需要添加其他功能。