二手 KOKUSAI CX-5000 #293762985 待售

KOKUSAI CX-5000是為高效處理集成電路和薄膜設備而設計的擴散爐及輔助設備。該系統具有高溫、快速加熱和冷卻的特性,非常適合制造高質量、可靠的設備。CX-5000擴散爐設計用於在0至1,400°C的寬溫度範圍內提供均勻的溫度控制。頂部加載裝載機可以方便地插入和移除基板。裝載機的最大基板尺寸為4英寸,熱循環時間為1-5000秒。加熱器的溫度設定點精度±為2°C。KOKUSAI CX-5000擴散爐配備了溫度控制器和高效PID控制算法。該裝置有助於在退火和擴散過程中保持精確的溫度管理。機器還提供自動關機和過溫保護,以防止損壞組件。CX-5000擴散爐由120V或220V單相電源連接供電。這種可靠的電源連接允許長時間連續運行。漏電不足兩毫安培，使得操作連接到同一條電源線的多個系統非常安全。KOKUSAI CX-5000的功率效率額定值大於70%。CX-5000擴散爐工具還包括許多附件，如自動裝卸機構、熱墻外殼和保形冷卻功能，有助於減少溫度突然變化引起的熱沖擊。資產還具有集成氣體分配模型，允許精確的氣體輸送到工藝室。KOKUSAI CX-5000擴散爐采用耐用材料建造，保證了可靠的性能和多用途。該設備設計用於高溫退火和擴散應用，非常適合半導體器件制造。此外，CX-5000擴散爐系統可用於研發活動，如退火薄膜裝置或測試新產品樣品。