二手 KOKUSAI CX-5000 #293762988 待售
網址複製成功!
ID: 293762988
晶圓大小: 12"
Diffusion furnace, 12"
Part number: DJ-1206VN -DF
Process: SI3N4
Main controller: KDSC
Power supply: 120 V, 1 Phase / 480 V, 3 Phase.
KOKUSAI CX-5000是為半導體工業中的高溫高壓工藝應用而設計的最先進的擴散爐設備。這個先進的系統具有尖端的技術和創新的設計,使它成為一個多用途和可靠的工具,以生產高質量的晶圓精度和一致性。主要功能和優勢:1.先進的加熱裝置:CX-5000配有高性能加熱機,可精確控制晶圓表面的溫度均勻性。這樣可以確保晶片的高效和一致的處理,從而獲得高質量的設備性能。2.精密氣流控制:該工具具有精密的氣流控制機制,能夠對氣體流量和混合物進行精確的操作。這樣可以精確控制晶片中的摻雜濃度和分布,從而獲得最佳的器件性能。3.高壓能力:KOKUSAI CX-5000能夠在高壓下運行,適用於需要升高壓力條件的各種擴散過程。此功能允許自定義流程參數以滿足特定的應用程序要求。4.用戶友好界面:該資產配備了直觀的用戶界面,可以方便地編程流程配方和實時監控流程參數。這種用戶友好的設計提高了工作效率,最大程度地減少了操作員的錯誤,確保了一致和可靠的結果。5.柔性晶片處理:CX-5000的設計可容納各種晶片尺寸,從小直徑到大直徑不等。這種靈活性允許在一次運行中處理多種晶圓類型,從而最大限度地提高吞吐量和效率。6.增強的安全功能:該型號配備了先進的安全功能,以確保操作員的安全並保護設備免受潛在危害。這些功能包括氣體泄漏檢測系統、緊急關機機制和聯鎖系統,以防止未經授權進入。7.遠程監視和控制:KOKUSAI CX-5000可以無縫集成到遠程監視設備中,從而可以從集中位置實時監視和控制流程。此功能可實現遠程故障排除和維護,減少停機時間並提高整體系統效率。8.節能設計:CX-5000的設計考慮到能源效率,利用先進的絕緣材料和加熱元件最大限度地減少能耗。這不僅降低了運營成本,而且有助於更可持續的制造過程。除了核心擴散爐單元外,KOKUSAI CX-5000還可以配備一系列配件和升級,以增強其能力和靈活性。這些附件可能包括晶片裝卸系統、過程氣體輸送系統、溫度分析工具和數據記錄軟件。總體而言,CX-5000擴散爐是半導體工業中高溫高壓擴散過程的前沿解決方案。KOKUSAI CX-5000具有先進的功能、用戶友好的界面和可定制的選項,是為各種半導體應用生產具有精確摻雜輪廓的高質量晶片的可靠高效工具。
還沒有評論