二手 KOKUSAI CX-5000 #293763029 待售

KOKUSAI CX-5000
ID: 293763029
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Diffusion furnace, 12" Part number: DJ-1226V -DF Process: D-POLY Power supply: 120 V, Single phase / 480 V, 3 Phase 2006 vintage.
KOKUSAI CX-5000是一種最先進的擴散爐,設計用於將摻雜劑精確、均勻、高效地擴散到半導體制造的矽基板中。這種先進的爐子配備了一系列特點和配件,便於高溫熱處理,具有出色的控制和可靠性。CX-5000的核心是一個高性能的石英管爐,它為摻雜物擴散過程提供了一個穩定且均勻的熱環境。該爐能夠達到高達1200 °C的溫度,從而能夠精確控制矽基板中的摻雜活化和擴散剖面。石英管的設計是為了抵禦熱沖擊和化學攻擊,確保長期的性能和可靠性。KOKUSAI CX-5000配備了精密的溫度控制設備,可讓用戶對爐溫進行高精度編程和監控。整個爐管的溫度均勻性保持在嚴格的公差範圍內,確保了一致和可重復的擴散結果。該爐還具有快速加熱和冷卻能力,能夠在半導體制造過程中實現快速循環和高通量。為加強擴散過程,CX-5000配備了一系列氣體輸送和混合系統,可精確控制摻雜氣體和載氣。該系統能夠處理多種摻雜物種,包括磷、硼、砷,純度和穩定性都很高。氣體流速和混合比可以很容易地調整,以優化特定半導體器件應用的摻雜條件。除了核心爐單元外,KOKUSAI CX-5000還配有一套全面的配件和選件,進一步提升其性能和多功能性。這些附件包括用於自動晶片裝卸的負載鎖定機、用於精確壓力控制的真空泵工具,以及用於擴散過程實時分析的一系列過程監控工具。CX-5000的關鍵優勢之一是其先進的過程控制和自動化能力。該爐與行業標準的工藝控制軟件兼容,允許無縫集成到半導體制造工作流程中。可以根據應用程序的特定要求輕松地將資產配置為批處理或單晶圓處理。總體而言,KOKUSAI CX-5000是半導體制造中摻雜劑擴散的前沿解決方案,提供卓越的性能、可靠性和多功能性。憑借其先進的特性和配件,這種擴散爐為半導體制造商提供了他們所需的工具,以實現各種半導體器件的精確和均勻的摻雜輪廓。
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