二手 KOKUSAI CX-5000 #293763031 待售

KOKUSAI CX-5000是為半導體制造應用中的超高溫加工而設計的最先進的擴散爐設備。這種先進的熔爐提供了對溫度和大氣的精確控制，以確保摻雜劑向矽片基板的最佳擴散。除了主要的擴散爐單元外，CX-5000還輔以一系列附件和外圍設備，以增強其功能和性能。KOKUSAI CX-5000主爐室由高純度石英管構成，具有堅固的加熱元件系統，提供均勻穩定的溫度控制。該裝置配備了先進的氣體輸送和混合系統，以創造擴散過程所需的精確工藝大氣。擴散爐可達到高達1200攝氏度的溫度，使其適用於包括砷、磷、硼摻雜在內的廣泛擴散過程。CX-5000的一個關鍵特點是其先進的溫度控制機，它利用多個熱電偶和一個復雜的PID控制算法來維持整個晶圓表面的高度精確的溫度剖面。這種溫度均勻性確保了一致和可靠的擴散結果，對於實現半導體制造過程的嚴格控制至關重要。為增強KOKUSAI CX-5000的功能,提供了一系列附件和外圍設備,包括快速熱退火（RTA）模塊、真空傳遞室和晶圓處理工具。RTA模塊允許快速加熱和冷卻晶片以進行退火過程，而真空傳輸室則允許晶片在工藝模塊之間無縫傳輸，以盡量減少汙染並減少停機時間。CX-5000晶圓處理資產設計用於高吞吐量制造，單晶圓或多晶圓加工選項，以滿足半導體生產設施的需求。該模型結合了智能晶圓映射和跟蹤功能，以確保在處理過程中準確定位和對齊，進一步提高過程的可重復性和產量。除了硬件組件外，KOKUSAI CX-5000還得到了提供直觀流程編程和控制接口的綜合軟件包的支持。該軟件允許用戶創建和編輯流程配方，監控實時流程參數，並生成詳細的流程分析和優化報告。總體而言，CX-5000擴散爐設備提供了先進技術、精密控制和通用配件的組合，使其成為半導體擴散過程的可靠和高效的解決方案。KOKUSAI CX-5000具有高溫、溫度均勻性和全面的自動化功能,非常適合需要卓越工藝性能和產量的大容量半導體制造環境。