二手 KOKUSAI CX-5000 #293763032 待售
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ID: 293763032
晶圓大小: 12"
優質的: 2015
Diffusion furnace, 12"
Part number: DJ-1236VN -DF
Process: ALD
Power supply: 120 V, Single phase / 480 V, 3 Phase
2015 vintage.
KOKUSAI CX-5000是一種高度先進的擴散爐設備,設計用於在制造集成電路和其他電子器件時對半導體材料進行精確高效的熱處理。此通用系統配備了一系列創新功能和附件,使其能夠在各種應用程序中提供卓越的性能、可靠性和靈活性。CX-5000單元的核心是其高性能爐膛,其設計目的是為半導體晶片提供均勻和受控的加熱至高達1200 °C的溫度。該爐室由優質材料構成,具有優良的熱性能,可確保晶圓表面的最大傳熱效率和溫度均勻性。爐子設有多個加熱區和氣體註入口,使晶圓處理步驟中的溫度精密剖析和控制成為可能。為便於擴散過程,KOKUSAI CX-5000機配備了先進的氣體輸送和混合系統,可以精確控制爐膛內的環境氣體氣氛。這確保了半導體材料在最佳溫度和氣體成分下進行所需的化學反應和擴散過程,從而獲得最佳性能和產率。該工具還能夠處理各種工藝氣體,如氧氣、氮氣、氫氣和摻雜氣體,這取決於半導體加工步驟的具體要求。除了其核心爐膛外,CX-5000資產還配備了一系列創新的配件和功能,以增強其功能和性能。其中包括一個先進的過程控制模型,它具有先進的軟件算法,能夠對熱處理步驟進行精確的編程和監測。設備還設有全面的安全聯鎖系統和報警裝置,確保操作員和設備在運行過程中得到保護。KOKUSAI CX-5000單元還提供高水平的自動化和集成能力,允許與其他半導體制造設備和工藝控制系統實現無縫連接。這使機器能夠在完全自動化的生產環境中運行,從而確保在大批量制造應用程序中的最大吞吐量和效率。該工具還配備了易於操作和維護的用戶友好界面,使操作員能夠以最少的培訓和精力快速設置和運行復雜的流程配方。總體而言,CX-5000擴散爐資產是先進半導體制造工藝中用於半導體材料熱處理的最先進的解決方案。憑借其高性能的爐膛、先進的氣體輸送系統以及創新的特性和配件,該型號為半導體行業的廣泛應用提供了無與倫比的性能、可靠性和靈活性。無論是用於擴散、氧化、退火還是其他熱處理步驟,KOKUSAI CX-5000設備都能提供卓越的效果,確保半導體生產的最高質量和產量。
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