二手 KOKUSAI CX-5000 #293763035 待售

KOKUSAI CX-5000
ID: 293763035
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Diffusion furnace, 12" Part number: DJ-1206VN -DF Process: POLY Power supply: 208 V, Single phase / 480 V, 3 Phase 2006 vintage.
KOKUSAI CX-5000是一種先進的擴散爐,專為半導體工業的大批量制造工藝而設計。這一尖端設備提供對熱處理條件的精確控制,達到統一可靠的效果,非常適合大型生產設施。CX-5000擴散爐設有多個加熱區和氣體噴射口,可在擴散過程中進行精確的溫度控制和氣流管理。這使爐子能夠滿足各種熱處理要求,包括氧化、擴散和退火等。KOKUSAI CX-5000的主要特點之一是其堅固的結構和先進的熱管理設備。爐膛采用高純度石英材料制成,在運行過程中保證了良好的熱穩定性和均勻性。溫度控制系統由多個熱電偶和PID控制器組成,能夠實時監測和調整工藝參數,以獲得最佳性能。除了先進的加熱和溫度控制能力外,CX-5000擴散爐還配備了精密的氣體輸送裝置。該機包括用於精確調節氣體流量和濃度的質量流量控制器,以及用於確保工藝氣體純度的氣體凈化器。這些元件的集成允許高度精確和可重復的擴散過程,從而產生高質量的半導體器件。此外,KOKUSAI CX-5000還設計了易於操作和維護的用戶友好功能。爐子配有直觀的圖形用戶界面(GUI),使操作員能夠輕松編程和監控工藝參數。還提供了自動化的序列和配方管理功能,使用戶能夠以最少的人工幹預來有效地執行復雜的處理例程。CX-5000擴散爐與各種晶圓尺寸兼容,從小型基材到大型300 mm晶圓,使其成為各種半導體制造應用的通用解決方案。該爐可適應單片加工以及批量加工模式,提供了滿足不同生產要求的靈活性。總體而言,KOKUSAI CX-5000擴散爐是一種最先進的設備,為大容量半導體制造提供卓越的性能和可靠性。其先進的特性、精確的控制能力和用戶友好的設計使其成為尋求在生產環境中實現一致和高質量處理結果的半導體公司的寶貴資產。
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