二手 KOKUSAI CX3000 #9291189 待售

KOKUSAI CX3000是一種先進的擴散爐及附件，專門設計用於處理半導體。適合電力裝置材料、薄膜沈積、鈍化層沈積、金屬化、氧化、退火、摻雜等多種特殊工藝應用。KOKUSAI CX-3000提供無與倫比的擴散速度和均勻性，因為它的高性能對外部線性區域加熱器，允許高生產率和均勻性。CX3000有兩個獨立的加熱單元，分四級，每個單元最多三個區域，總熱區長度約50毫米。CX-3000還有一個計算機化的過程控制系統，可以精確控制時間、溫度和氣流。先進的KOKUSAI CX3000具有多層擴散室壁，為快速、均勻的傳熱和溫和的溫度傾斜提供了出色的隔熱性能，這對於保護細膩的基板至關重要。KOKUSAI CX-3000還采用了一種創新的晶圓提升系統,該系統通過自動加載程序簡化晶圓加載,並通過手動加載實現靈活性。CX3000設計具有最大的安全性和性能,具有過熱保護、排氣自動停止和安全閥以及全閉環熱控制功能。該爐還具有先進的溫度測量和工藝控制系統，確保了安全和可重復的滲碳效果。CX-3000極其安靜，噪聲水平小於68 dB，可達到高達2,000 °C的溫度。這使得它非常適合處理各種材料，從低k電介質到多Si發射極材料。由於其低排放和無塵沈積，也適合在潔凈室環境中運行。總之，KOKUSAI CX3000是一個強大的擴散爐和附件，旨在提供最高質量的性能，安全性和可靠性。適用於從動力裝置材料到薄膜沈積等多種應用。先進的熱控系統和多級加熱裝置使其成為均勻滲碳退火工藝的理想選擇，具有高速度和重復性。