二手 KOKUSAI CX3000 #9291191 待售

KOKUSAI CX3000是為促進先進半導體器件的發展而設計的擴散爐設備。它是一種溫度在20-1470攝氏度之間的多區爐，適用於外延、氧化、摻雜活化、氧化等多種半導體應用。該系統由一個基座單元、一個真空室以及包括排氣單元、電源和石墨敏感器在內的多個附件組成。KOKUSAI CX-3000具有高溫陶瓷隔熱機和先進的溫度控制和調節控制工具。金屬合金敏感器采用高頻感應加熱元件加熱，以最小的源降解提供快速均勻的加熱。該資產還能夠在磁感器表面提供正溫度，從而實現均勻的溫度分布和對溫度剖面的精確控制。高溫雙區工藝室能夠精確控制溫度區和均勻的熱梯度。它采用石英窗和交叉耦合設計，以確保整個腔室的均勻性。CX3000還有一個低溫敏感器、專門為低溫工藝設計的石墨敏感器和一個蝕刻站。CX-3000模型幾乎在設計的各個方面都具有很大的靈活性。它采用用戶友好的開放式體系結構平臺進行設計,以方便地配置設備以滿足特定的流程需求。它還采用模塊化組件設計進行設計,為客戶提供根據其特定需求定制系統的靈活性。總之，KOKUSAI CX3000是一種適用於各種半導體應用的先進擴散爐裝置。它具有精確的溫度控制能力，允許最佳的熱梯度和出色的均勻性。它的模塊化元件設計和用戶友好界面還允許一臺高度可定制和靈活的機器,該機器可以定制以滿足幾乎所有制造過程的需求。