二手 KOKUSAI CX3000 #9291199 待售

KOKUSAI CX3000是一種擴散爐，旨在在一系列半導體過程中優化基板的摻雜或鍵合。作為熱擴散爐，KOKUSAI CX-3000具有單區加熱室和可用於矽或復合半導體器件的熱區。這兩個區對溫度和大氣提供精確可靠的控制，以容納不同的材料，用於薄膜的沈積、晶片的變薄或粘合以及其他重要的過程。爐子的外部尺寸為L1400xW700xH1715mm，而內部尺寸L1,100mm x W600mm x H1430mm。由石英或其他材料制成，溫度範圍200-1020 °C，分辨率± 2°C。CX3000爐也可以達到1,160°C的最高溫度以進行快速退火。溫度也可以被編程為接受多種熱條。CX-3000爐有一個可調的底座和一個可更換的頂蓋板，這兩者可以配置為適合大多數操作。此外，它還配備了各種可選配件，如空氣滑梯、電動門、不同位置的加熱器和鼓風機。它還具有強大的電機驅動鼓風機，有助於更快地加熱和冷卻內室。KOKUSAI CX3000爐配備了PID自動調諧系統等防傻瓜控制系統，有助於在整個擴散過程中保持溫度恒定。這樣可以防止由於突然的溫度變化而浪費時間和材料。爐子的燃氣單元和水冷電磁閥控制氣體的進出流量，有助於實現腔內室外的最高均勻性。該系統還具有嵌入式軟件和硬件,可確保操作過程中的幹擾最小。KOKUSAI CX-3000擴散爐采用最新的下一代石英晶體技術，可用於離子註入、氧化、退火和再生摻雜等多種工藝。該爐適用於規模較小的生產以及更先進、更復雜的光伏和微電子生產。適合於矽、砷、磷、氮化物半導體等多種不同的材料。