二手 KOKUSAI CX3000 #9291201 待售

KOKUSAI CX3000
ID: 9291201
晶圓大小: 12"
Furnaces, 12" P/N:DJ-1206V -DF Process: SI3N4.
KOKUSAI CX3000是一個尖端的擴散爐和附件套件,有助於工業過程的高效操作涉及加熱和退火。KOKUSAI CX-3000采用了多種業界領先的技術和組件,包括緊湊的多功能設計,可降低能耗和運營成本。CX3000油井采用堅固SUS431不銹鋼結構,可配置7區控制,以實現更高精度的擴散。CX-3000還設有一個寬大開口的真空門,以便進行更大的基板加工。門可以手動操作或機動,以提供快速和方便的訪問。此外,KOKUSAI CX3000還有一個可選的自動裝罐系統,可裝載更大、更重的基板,而內部則采用耐鎳高溫鋼,性能更長。KOKUSAI CX-3000具有自動化的質量流量控制器,可實現精確高效的氣流控制。控制器可以被編程為調整氣體流量水平,以改進質量流量控制,包括警告和維護警報,以使操作更加順暢。它采用Ni-Cr-Al合金制造,最多可支持五種不同的氣體供給,用於更廣泛的操作。此外,CX3000還包括一個專門的高功率密度碳化矽(SiC)加熱元件。與傳統的加熱元件相比,這種新型加熱元件具有更好的溫度均勻性和完全的可靠性,因為它使用高效、低能量的碳化矽代替傳統的Mgo芯。堅固的SiC加熱元件還提供了出色的隔熱和電絕緣,良好的導熱性,以及可根據所需應用調節的額定功率。為確保均勻溫度和退火過程,CX-3000還包括一個風扇,用於在整個腔室中均勻分布溫度。高效風扇利用電機控制的三向通風系統改善循環,並具有保護設置以確保安全運行。此外,KOKUSAI CX3000包括一個電源和溫度監視器,用於實時讀取腔室的溫度和設置,同時在腔室中還包括一個熱電偶,以提高安全性。總體而言,KOKUSAI CX-3000擴散爐和附件套件為高效的工業加熱和退火過程提供了一個高性能的系統。從它的小巧尺寸,到它的多功能設計和高效、低能耗的部件,CX3000是一個強大而可靠的解決工業操作涉及加熱和退火。
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