二手 KOKUSAI DD-1223VN #9179435 待售

KOKUSAI DD-1223VN是一種擴散爐及附件封裝，用於薄膜沈積、外延、氧化和擴散等半導體加工應用。該爐由系統控制器、擴散加熱器、渦輪泵單元和石英室組成，重點是精確的溫度控制和準確的氣流。系統控制器為3英寸TFT液晶，帶有觸摸面板界面，允許用戶輸入溫度參數，設置PID環路進行精確溫度控制，查看操作參數等等。擴散加熱器是一種高品質、高效的加熱器，可達到1500攝氏度的溫度，溫度分布均勻，與1-四甲基矽烷、矽烷等氣體兼容。渦輪泵機采用無油旋轉泵，可達到0.2Torr的底壓。這樣可以確保可靠的性能和原始的真空條件。石英室由熔融二氧化矽材料構成，可承受高溫和腐蝕性材料。腔室內部容積為25升，直徑為12英寸，高度為8英寸，並設有壓力釋放閥，在加工過程中保持必要的壓力條件。DD-1223VN提供了一系列功能,使其成為任何半導體處理應用的理想選擇。具有精確的溫度控制和可靠的氣流，是沈積、外延、氧化、擴散的絕佳選擇。此外，該室的設計確保材料不會汙染內部，這使得KOKUSAI DD-1223VN理想的所有工藝。