二手 KOKUSAI DD-802 #9181772 待售

KOKUSAI DD-802
ID: 9181772
晶圓大小: 6"
Furnace, 6".
KOKUSAI DD-802擴散爐是金屬和其他基材高質量擴散加工的通用可靠設備。它以兩管式設計為特色,主體與連接的工作室,並為廣泛的工序而設計。該爐有一個集成的過程控制系統,能夠精確的溫度控制均勻擴散基板。溫度範圍高達1400 °C,最大進氣流量達每分鐘400立方厘米。DD-802包括一整套可配置為滿足每個應用程序特定要求的擴散附件。這包括濺射沈積工具,它允許控制目標材料沈積到基板上。氧化沈積裝置(ODS)提供均勻的氧化物生長,是揮發性物質的理想選擇。Advanced Gas Deposition Machine(AGDS)為多種基材增加了一層氣相沈積。多顆粒沈積工具(MPDS)與AGDS協同工作,為均勻、高度受控的薄膜前體沈積多層組合。KOKUSAI DD-802具有集成的電氣資產,可保護基板並防止電氣事故。這是通過爐子本身進一步啟用的,爐子本身提供了高水平的屏蔽輻射防護,以確保安全的操作環境。DD-802具有多級安全模型,可為所有組件和進程提供可靠的安全性。它具有兼容的軟件,允許用戶跟蹤所有流程和結果,還具有實時溫度配置文件查看器來監控流程推進。最後,KOKUSAI DD-802旨在在各種環境中運行時提供最大的便利。它有一個符合人體工程學的設計,將長時間站立的疲勞降至最低,同時還有一個快速冷卻周期的集成冷卻設備。這確保了在任何工作環境中都能保持一致和高效的績效。
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