二手 KOKUSAI DD-802V #9068939 待售

KOKUSAI DD-802V
ID: 9068939
晶圓大小: 6"
Diffusion furnaces, 6".
KOKUSAI DD-802V擴散爐是一種高度專業化的熱處理設備,用於將雜質擴散到基材中以改變其復合材料、電阻和/或光學能力。DD-802V非常適合需要快速、精確和可重復的擴散處理的生產線。該系統由一個電阻加熱的真空室、一個內置的燃氣單元和渦輪分子真空泵裝置以及一個計算機控制的用戶界面組成。KOKUSAI DD-802V的真空室由不銹鋼制成,氣密,防止加工過程中所含介質受到汙染。該機組配備了用於精確溫度控制和快速溫度坡道的高精度溫度控制器,從而提高了質量,縮短了周期時間。腔室最高溫度為2000°攝氏度,使用高精度電阻加熱技術可精確控制至± 2°攝氏度。集成氣機由氮氣罐、質量流量控制器和高精度閥門組成,這些閥門被編程為檢測和自我調節進入的氣流。氣體工具允許精確的氣流控制,允許準確和可重復的過程結果,而無需任何雜質的額外預散。DD-802V還具有渦輪分子真空泵裝置,允許真空水平低至1x10^-2 Pa,以及冷藏裝置,以消除真空室中的顆粒物和其他空氣汙染物。這確保了模型在最佳水平下工作,並且沒有任何外來粒子可以進入擴散室並汙染結果。KOKUSAI DD-802V利用PC或PLC控制的用戶界面進行設置、操作和監控。所有參數都是用戶定義的,並存儲在PC或PLC上,從而提高了可重復性,並為不同的流程提供了無限數量的配方。設備還有一個緊急停止按鈕,以及過熱的報警蜂鳴器,以及在緊急情況下可以快速冷卻腔室的緊急冷卻系統。總之,DD-802V擴散爐是一種先進而可靠的高精度溫度控制和低可控真空水平的精確再現的方法。其用戶友好的計算機和PLC控制的用戶界面使操作變得容易,同時其氣體單元和應急安全功能確保了結果保持一致和可靠。
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