二手 KOKUSAI DD-803V-H #9248596 待售

KOKUSAI DD-803V-H
ID: 9248596
晶圓大小: 8"
Vertical diffusion furnaces, 8" Process: WET-OX.
KOKUSAI DD-803V-H是一種擴散爐及配件,設計用於在半導體、MEMS和其他薄膜生產領域等多種相關市場提供晶圓加工的先進能力。它特別設計用於半導體制造過程,最新的低壓技術使它能夠支持生產更銳利的線路和電路,以獲得最佳性能。這種擴散爐由堅固的不銹鋼材料制成,三重加熱器組件由3個電加熱器組成,總額定功率為220v、15A、60Hz單相源產生的36kW。加熱元件通過溫度範圍為8°C至800°C的PID溫度控制器控制。該爐還具有一個大的工作空間,可以容納8個6英寸晶圓和4個8英寸晶圓,總尺寸為350 x 350 x 550毫米。DD-803V-H配備了確保高質量結果和最大運行性能的功能。開發了一種帶有噴嘴的排氣設備,能夠清除有毒、爆炸性和有害的蒸氣,如氫氟酸、硼、氯、氮和乙炔氣體。它還通過進氣過濾器阻止氣體汙染。這使得設備可以在避免化學損傷晶片的同時進行均勻擴散。KOKUSAI DD-803V-H還裝有溫度均勻性監視器。這是專門為測量、控制和調整內爐溫度而設計的,以保證溫度的均勻性,從而保證過程的高質量。此外,它還具有集成真空系統,可達到最大真空度的7X10-2 Torr。DD-803V-H設計具有較高的安全措施,包括一個溫度安全控制單元,它可以防止過熱與過熱保護機器。此外,它還安裝了一個緊急停止按鈕,可確保設備運行時的安全。KOKUSAI DD-803V-H代表了半導體和薄膜生產工藝的高度產品創新和可靠性。它是一個全面、高效的解決方案,可長期節省大量成本,從而確保您的項目按時完成並獲得高質量的結果。
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