二手 KOKUSAI DD-803V #293589150 待售

KOKUSAI DD-803V是一個用於處理大型半導體工藝的擴散爐及附件包。配備橋式立式升降機，高效加熱設備，集成冷卻系統，工藝性能最佳。專有的垂直升降機提供快速的水平方向變化和高靈活性的日常操作。爐單元設有三個不同的區域，每個區域可處理多達6英寸的基板，從而使其能夠輕松加工大型基板。擴散室配備了高質量的預校準熱電偶，對熱過程提供了優越的控制。加熱機設計為快速均勻加熱，在所有區域提供均勻的溫度分布。溫度範圍由室溫可調至1,200 °C，最高允許溫度為1,275 °C。集成冷卻工具最大限度地利用了可用的冷卻劑，以保持基板在一個一致的溫度。冷卻過程通過一個復雜的軟件平臺進行管理,以確保最佳性能。為了獲得最高的可靠性,冷卻設備配備了一系列噴嘴以實現完美的控制.此外，KOKUSAI DD-803-V還配備了氣流控制模型，對惰性氣體和反應性氣體進行精確計量，從而實現最佳擴散性能。主控制單元為操作員提供全觸摸屏界面，方便操作維護。而且，設備符合SEMI S2及其他相關安全規則，允許安全高效的流程。DD-803V專為大型半導體操作而設計，為長期使用提供快速可靠的處理。立式升降機的多功能性保證了日常操作的優越靈活性，溫度範圍足以滿足幾乎所有基板加工需求。此外，集成冷卻系統提供了有效的控制，氣流控制單元確保了精密計量。總而言之，這是一個適用於大規模作業的專業級擴散爐包裝。