二手 KOKUSAI DD-813V #293622158 待售

KOKUSAI DD-813V是一種常用於半導體光刻應用的擴散爐及輔助設備。它具有自動溫度控制功能，並提供分散的面向板的設計，提供各種板尺寸和加熱速率。該系統為高溫使用而建，溫度範圍為0至1050 °C，在不到20分鐘的時間內即可達到操作溫度。功率水平可由0調整至150 kW，使晶圓等相關材料能夠硬、中、軟退火。DD-813V的分散式設計是模塊化的,可以方便地訪問設備的所有部件,並且使用通用的冷卻機而不是多個冷卻箱。每個板段都有石英支架，包括一個標準的10mm石墨板和0.6-1mm石英板架，以及2mm和3mm石英間隔板可作為可選附件。該機設計為高效運行和最小停機時間,所有機械、電子和光學部件均經過優化,以實現最佳性能。整個工具安裝在一個緊湊的、專用的機器外殼中，其設計目的是使正常運行時間最大化並保持最佳工作環境。電子控制資產和流體非接觸式冷卻發電機均采用遠程操作，以確保易於使用和維護。所有設備都是為濕法加工和幹法加工而設計的，有各種各樣的工藝配方和控件可供使用。此外，還包括一個集成氣體歧管，以允許外部氣體輸送。KOKUSAI DD-813V模型采用自動修復（AR）技術,通過在運行過程中自動再生和清除石英板來降低維護成本。水平和垂直位置傳感器可確保整個板區域的均勻曝光,而內置的安全功能可提供額外的保護層。該設備還對爆炸性大氣進行了評級，並進行了符合Rohs標準的測試。總體而言，DD-813V擴散爐及配件系統是一種多用途、高質量的機器，使用戶能夠有效地加工各種材料。其硬化石英板、軍用級部件和易於使用的界面提供了極大的靈活性，最大限度地提高了生產產量，並支持了一系列工商業半導體制造和光刻應用。