二手 KOKUSAI DD-813V #293622162 待售

KOKUSAI DD-813V是一種擴散爐，一種專門為矽片的摻雜、退火和活化而設計的工藝設備。DD-813V采用了最新的創新技術，為石英和矽片的熱處理提供了卓越的質量和性能。它可以用石英加熱到1000 °C，或者用可選的石墨室加熱到1350 °C。此外,KOKUSAI DD-813V可以方便地裝入兩個650 mmx4英寸晶圓和一個8英寸晶圓。它的數字控制面板和觸摸屏控制系統使調節溫度、監控時間和訪問不同的程序變得容易。該機配備了高性能氦氣或氮氣流，利用高速氣體擴散將氣體均勻地擴散到目標上。這樣可以確保高純度玻璃蝕刻過程的均勻性和一致性。DD-813V內部裝有多層表面加熱器，有助於溫度的設置和溫度的均勻性。這與四個熱解氮化硼（PBN）絕緣圓柱體結合，均勻地向樣品散熱。它還有助於設置高溫度,同時確保加工的準確性。為確保安全運行，KOKUSAI DD-813V配備了冷箱燃氣加熱器保護系統。這是為了防止熱量積聚，從而造成樣品損壞。DD-813V還具有高性能氧化傳感器，有助於監測晶圓上的薄氧化層。KOKUSAI DD-813V是一種方便、多功能的擴散爐，具有極好的精度和精確度。它設計用於石英和矽片的安全、快速和經濟的熱處理，是半導體制造的理想選擇。因此，DD-813V是半導體材料熱處理的理想選擇。