二手 KOKUSAI DD-823V-8BL #9188430 待售

KOKUSAI DD-823V-8BL擴散爐是一種用於制造微電子器件的同時摻雜和退火過程的高性能設備。它具有650°C的最高溫度設置，以及一個8英寸的石英管式爐室，設計用於擴散包括矽、的、鋁、硼、的各種材料。該爐還配有一個內置的石英船，用於將基材轉移入腔室，並配有一個額外的組件架，方便多個基材並行擴散。它還能夠處理直徑達8英寸、厚度達1/8英寸的樣品。DD-823V-8BL爐采用全數字化設計，采用直流式SL-2000V系列溫度控制器，實現精確的溫度控制和均勻的溫度分布。數字控制器利用一系列熱電偶接頭盒來測量和監測溫度。為了增加均勻性,還包括一個循環風扇以實現對流傳熱。該爐還具有標準的安全特性，如超溫極限控制、緊急關閉開關和安全燈。該擴散爐配有一個由三級旋轉葉片真空泵組成的集成真空系統，以實現高真空操作和快速降低腔室氣氛。該系統采用高效顆粒過濾器，設計簡便。此外，爐子上還配有擴散屏蔽、擴散熔爐、背板、網眼，方便材料向腔室內部擴散。KOKUSAI DD-823V-8BL使用非接觸式紅外光學傳感器,以確保準確的樣品溫度分析和與所有標準附件的兼容性。還具有直觀和用戶友好的設計控件,使操作和維護變得容易。爐子設計有一個靠近腔室頂部的單磁鎖，便於清洗和進入。總體而言，DD-823V-8BL擴散爐是一種高精度、先進的儀器，在微電子器件的生產中具有可靠的摻雜和退火工藝。