二手 KOKUSAI DD-823V-8PL #9236896 待售

KOKUSAI DD-823V-8PL
ID: 9236896
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Furnace, 8" SMIF Process: H2 Anneal 1997 vintage.
KOKUSAI DD-823V-8PL是一個先進的擴散爐和附件集,是理想的半導體制造應用。該裝置的特點是具有出色的溫度均勻性的烤箱室,以及提供卓越的熱循環的多段加熱器。主室配有精密編程的分區熱電偶和每個區域的獨立加熱器,具有高達1600℃的高溫氧化和氮化能力。氣室提供來自基板兩側的均勻氣流,有多種氣體混合物用於高溫摻雜和化學反應。全爐包內包括遙控面板、壓力控制單元、實時監控系統和先進的安全功能。控制面板允許從遠處輕松調整溫度、壓力、氣流和其他設置。壓力控制單元通過阻擋排氣,準確控制氣流,在烤箱室內提供準確穩定的壓力。實時監測和安全特性保證了爐在峰值性能和峰值安全狀態下運行。DD-823V-8PL還具有許多強大的特性和功能。自動進程序列功能允許運算符按順序運行多個進程。爐子還具有定時開口的能力,允許門精確定時開口,避免損壞門和可能的汙染。拆分視圖選項使操作員能夠在室外工作時查看腔室內部,從而無需在操作過程中步入腔室。KOKUSAI DD-823V-8PL是一種高度先進可靠的擴散爐,具有卓越的溫度均勻性、先進的安全特性和強大的功能。這種器件是半導體制造業尋求一體爐和附件包裝的理想選擇。
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