二手 KOKUSAI DD-823V #293729520 待售
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單擊可縮放
ID: 293729520
晶圓大小: 8"
優質的: 1995
Furnace, 8"
Paint color: Ivory
LC-750 O2 Analyzer
Cassette: Normal I/O
System main controller CX2003A
Mechanical controller CX1215-1, 1215-2
Sequence controller CX1309A
Gas controller CX2003A
Furnace temperature controller CQ1500A
Furnace overtemp detector DN-130lz3
RIKEN KEIKI GD-D8V
Detecting Gas H2
Host communication
Host computer I/F HSMS
Gas system:
Process gas: N2, H2
FUJIKIN Manual valve
FUJIKIN Air-Operated valve
MILLIPORE Filter
Yataka regulator
MFC STEC / SEC-7330, 7350, 7340
TEMTECH / TPTMV-WD420 PT Sensor
DPM TEMTECH / NPS42000P
Cassette handling:
(21) Cassette storage
(25) Wafer cassette
Fork type: 1+4 VAC
Fork wafer presence sensor
Fork variable pitch
Install option:
Gas flow chart panel
Operation panel
1995 vintage.
KOKUSAI DD-823V擴散爐是一種高性能的單區爐，專門為半導體器件的可靠高效熱處理而設計。該爐具有獨立的腔室環境監測系統和用戶友好的程序操作，確保一致和可重復的結果。它的設計最高可達1,400 °C,並包含一系列功能,使用戶能夠以所需的精度和控制進行可靠的擴散處理。爐膛由一個爐膛組成，由高溫空氣加熱器加熱，並隔熱，以提高能效和安全性。它還包含一個高溫機械泵和低噪聲風扇，用於冷卻腔室和驅動氧化過程。比例溫度控制器允許通過PID閉環系統對溫度進行精確操縱，並以高度的穩定性和精確度實現快速的熱和冷卻時間。工藝室內的大氣由氣流控制系統維護和監測，該系統由用於控制氣流的質量流控制器和用於排出爐室的真空單元組成。包括水冷渦輪分子泵以確保腔室內的壓力保持在可接受的範圍內。所有這些特殊的特性確保了均勻的薄膜沈積，即使在工藝室的出口一側也是如此。各種配件也附帶了DD-823V，形成了一個整體價值主張。其中一些主要附件包括一個可旋轉淋浴頭單元，該單元通過應用反應物氣體淋浴幫助在晶圓水平上形成均勻層，以及一個連桿板，它能夠在不損害加工室環境的情況下自動裝卸產品。除了這些，還包括一個石英頂載荷單元，用於修改大氣。最後，還包括一個活性碳過濾器，可有效消除室內大氣中的有機雜質。總體而言，KOKUSAI DD-823V擴散爐是一種可靠、高效的擴散處理解決方案，它包含一系列專門的特性和先進的附件，用於在晶圓水平上形成均勻的層。它確保半導體器件在高達1,400 °C的溫度下安全、高效和可重復的熱處理,並提供對該工藝的高度精確度和控制。其中包括一系列有用的配件，以進一步提高爐子的效率，幫助爐子提供價值主張。
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