二手 KOKUSAI DD-823V #9286970 待售
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已售出
ID: 9286970
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
System, 8"
Gas supply:
PCW Supply
Boat system
Load lock
(26) Carrier slots
System control:
Main controller: 0 x 3000
Touch screen
Front and rear gas flow
Temperature: CQ1600
Pressure: PCU 3000
Power supply: 1Φ 208V / 15A
Heater power: 3Φ 208V / 250A
Pump unit
Process gases:
Gas 1:
FC-986Y-BF N2 10 SLM
FC-986Y-BF N2 10 SLM
FC-985Y-BF N2 2 SLM
Gas 2:
FC-985CY-BF NO 1 SLM
Gas 3:
FC-986CY-BF N2O 20 SLM
Gas 4:
TC-FC986CY-BF O2 10 SLM
TC-FC985CY-BF O2 1 SLM
Gas 5:
FC-985CY-BF H2 500 Sccm
FC-985CY-BF H2 200 Sccm
FC-985CY-BF H2 500 Sccm
FC-985CY-BF H2 500 Sccm
FC-985CY-BF H2 200 Sccm
Gas 6:
FC-985CY-BF HCl 500 Sccm
Gas distrubution:
FUJIKIN Standard
SUS-316L Tubing material
VCR Tubing finish
FUJIKIN Manual
FUJIKIN Air operated valve
VERIFLD Regulator
AERA MFC
Exhaust distribution:
Baratron gauge
Main valve
Pump line
(24) Cassettes
(2) Input / output ports
(5) Wafer transfers
Ceramic fork material
(5) Forks
Fork variable pitch
Elevator:
Boat elevator
Auto shutter
Boat rotation
Mechanical part
Heating chamber:
TC R Type: (5) Zones
(5) Spikes T/C
(5) Overtemp protectsT/C
Door interlock
Exhaust:
Heater
Gas box
Process
Missing parts:
CKD
Therno VAC TM 22
1994 vintage.
KOKUSAI DD-823V是一種適合半導體工業廣泛應用的擴散爐及配件。爐子有一個能夠達到和維持最高1300℃的溫度的腔室。這使得氣體和各種材料能夠擴散用於加工和其他應用。該爐的設計也是為了有效和高效地維持一種適合在室內進行的應用的氣氛。DD-823V配備了多種控制系統。它有一個控制室內溫度、氣流和其他過程的宏觀程序員。此外,該爐還配備了精密溫度控制器,用於保持精確和可重復的溫度剖面。這些控制器還提供了根據應用要求控制爐內溫度升降速率的可調參數。爐的功率部分采用了先進的功率因數校正技術,允許精確控制輸送到腔室的功率,進一步提高了加工精度。除了溫度控制和過程控制功能外,KOKUSAI DD-823V還具有各種安全組件。其中包括過溫和氧化報警器,以及防止氣體在室內揮之不去的排氣扇。爐子還設有一個安全門和一個緊急停止按鈕,在緊急情況下關閉所有腔室電源。所有這些部件都確保爐子安全可靠,可廣泛應用。DD-823V還配有一整套配件,便於使用和維護。其中包括一個溫度指示器、濕度計和用於監測室內大氣的壓力表。該單元還包括各種閥門控制系統和石英管,允許用戶預覽擴散過程。最後,各種適配器和其他附件可用於將爐子連接到外部系統。KOKUSAI DD-823V是一種可靠、安全高效的擴散爐及配件,適用於半導體行業的各種加工應用。它能夠達到和保持最高1300℃的溫度,加上眾多的安全特性和附件,使其成為滿足許多加工要求的理想選擇。
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