二手 KOKUSAI DD-853 #9131345 待售
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已售出
ID: 9131345
優質的: 2001
Diffusion furnace
6/2001
Bridgework
Element
1200 Heater
4 Zone
Pyro
Cx3202b controller
5 finger high speed robot
Cx3002 controller
2001 vintage.
KOKUSAI DD-853是一種高性能擴散爐,專為滿足矽和復合半導體制造與開發的要求而設計。它能夠對低溫驅動和低溫多晶矽沈積進行連續退火處理。該爐由一個高溫爐膛室組成,設計時可裝載多達6076根樣品棒,位置可調。溫度可以從25攝氏度(T-Slope control)調整到1000攝氏度,可以長時間保持,沒有任何問題。該爐還設有低密度碳控制冷卻設備,確保在擴散過程中對樣品進行精確的溫度控制和均勻的冷卻。DD-853有氧氣和氮氣的自動控制系統,以及其他氣體,例如氙氣、氫氣和甲烷。它配備了3步壓力/溫度自動控制系統,用於精確的樣品擴散。此外,該設備還具有兩個冷卻端口和一個鎖定端口,以確保正確的樣品裝卸。KOKUSAI DD-853隨附的附件包括一個將樣品裝載到擴散棒上的驅動程序、一個精確監測過程的計時器以及一個真空吸塵器/凈化器,以防止爐子更快地磨損。DD-853還有一個內置的安全警報機,以保護用戶在任何異常操作的情況下。它配有各種傳感器和指示器,包括顯示器和報警按鈕。內部系統旨在監測溫度、壓力和氣體成分,以確保最佳工藝。KOKUSAI DD-853是市場上最先進的擴散爐之一,是滿足任何生產和研究需求的完美解決方案。憑借其長期的穩定性和安全性特點,以及隨附的各種配件,DD-853是半導體生產開發的理想選擇。
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