二手 KOKUSAI DD-853V-8BL #9028269 待售

KOKUSAI DD-853V-8BL是一種專業的擴散爐及相關配件，設計用於矽晶體外延、摻雜劑擴散、氧化，以及用於制造半導體器件的各種其他工藝。它具有一系列高級功能,旨在優化性能和最大限度地提高便利性,因此物有所值。KOKUSAI DD853V-8BL有一個高溫多區爐，能夠達到高達1,400°C的溫度。此外，還配備了先進的冷卻設備，為改進過程控制提供了優化的散熱。獨特的側向噴射加熱區可確保快速的區域恢復時間,可選的Mu-Chip反應裝置可確保底物上的溫度均勻。DD853V 8BL還配備了可選的氣體輸送系統。這包括一個管道單元和氣體混合器，使多種氣體能夠準確地輸送到反應室中，從而改進了過程控制。氣體輸送機還確保對反應環境的直接控制，允許對溫度、壓力和含氧粒子壓力等參數進行精確控制。DD-853V-8BL還包括一個自動晶片裝載機和一個自動晶片卸載機。自動晶片裝載機允許將晶片輕松裝卸到反應室中，並通過使用先進的視覺工具保證定位精度。自動晶圓卸載器具有簡單直觀的設計，允許容易地去安裝加工過的晶圓。最後，DD853V-8BL具有先進的安全功能，如門互鎖資產，防止人員在高溫時進入反應室，保護人員和設備免受潛在傷害。還可以啟用緊急關機模型，一旦滿足預定條件自動終止反應，進一步提高操作安全性。總體而言，KOKUSAI DD853V 8BL是一種最先進的擴散爐及相關配件。其先進的溫度控制和氣體輸送系統被設計為優化性能，而其自動化的晶片裝卸系統和安全特性被設計為最大限度的方便和安全。它是任何半導體制造設施的理想選擇。