二手 KOKUSAI DD-853V-8BL #9021601 待售

KOKUSAI DD-853V-8BL是一個擴散爐和附件包設計提供均勻擴散和不間斷生產。該套件具有結構CVD/PECVD工藝室、石英船、可選的電梯系統以及各種其他附件,以實現最佳的設備性能。與其他擴散室設計相比，該工藝室具有更快的加工速度，提高了生產效率。KOKUSAI DD853V-8BL擴散爐具有8英寸乘8英寸的腔室尺寸，專為生產高純度和高產均質膜而設計，是大型研究和商業操作的理想選擇。包裝最多可容納3艘石英船，可用於加工矽、矽基器件、銅酸鹽基化合物等多種材料。該工藝室采用多滑動和開放式設計，可方便高效地裝卸物料和統一的腔室操作。該套件還有一個可選的高程系統，允許石英船在擴散室內高效循環。這種自動電梯單元設計為提供可靠、安全的操作、精確的定位和改進的熱均勻性。DD853V 8BL還包括各種擴散爐附件，如濺射電源、電極射頻偏置電源、助推泵、惰性氣體調節器和氣體質量流量控制器。KOKUSAI DD853V 8BL擴散爐包件中的所有部件均設計為可靠高效的性能。該室采用低熱質量的QuartzCote防護和多滑設計，確保了卓越的熱均勻性，而石英船和升降機則增加了便利、提高了穩定性，有效利用了空間。該套件的設計考慮到了安全性和便利性,並且為了最大程度地便於使用和提高效率,KOKUSAI采用可編程設置和通用控制系統實現自動化,以確保生產的準確性和統一結果。