二手 KOKUSAI DJ-802 #9144938 待售

KOKUSAI DJ-802
ID: 9144938
晶圓大小: 6"
LP-CVD Furnaces, 6"
KOKUSAI DJ-802是一種專業的擴散爐設備,為大批量生產提供高效可靠的擴散工藝。該系統包括一個爐、空氣控制器、功率控制器,以及其他使高精度基板能夠快速、精確地加熱和冷卻的附件。擴散爐是用於外延和低擴散生長過程的先進且可靠的工具。其溫度範圍高達1800°C,可配備多種搪瓷和陶瓷加熱元件,以適應特定的圖樣和加工應用。DJ-802的結構包括上部爐體、下部爐體、蓋子和底蓋。爐體有兩層,以提高爐體的熱擴散和穩定性,同時防止不必要的熱斷裂。它還有一個用於溫度控制和穩定的冷卻裝置。空氣控制器允許用戶精確控制氣流的加熱功率和壓力。這樣可以確保均勻的溫度分布和更好的省電。機器還有一個電源控制器,在加熱或冷卻過程中調節電流。此工具設計用於批處理和內聯處理,允許快速重新設計。它還有一個高精度的可編程控制器,提供在+/-1%以內的絕對溫度精度。它還配備了多項安全功能,如關機功能、過溫保護以及萬一壓力過大時的自動關機功能。KOKUSAI DJ-802是用於基板加工的理想工具,因為它提供了精度、均勻性和大批量生產。適用於氧化物基材料的擴散、外延沈積、快速重結晶。該資產還與廣泛的基板配合使用,包括矽、GDS和多晶矽,使其適合多種生產應用。總體而言,DJ-802擴散爐模型是一種高效可靠的大容量擴散過程工具。它提供精確的溫度控制,以及一系列安全功能,確保操作員和過程的安全。該設備適合多種生產應用和材料,是各種行業的理想選擇。
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