二手 KOKUSAI DJ-805 #9068941 待售

KOKUSAI DJ-805
ID: 9068941
晶圓大小: 6"
Furnaces, 6".
KOKUSAI DJ-805是一種擴散爐及配件,可用於半導體器件的性能最大化。其先進的熱處理技術使其成為各種裝置工藝的理想選擇,包括熱退火、層間氧化和摻雜活化。它為用戶提供了一個更簡單的技術和操作控制在同一個爐子多種處理,以及更高水平的可靠性和過程可重復性。與先進的氣流混合物管理系統相比,DJ-805提供了卓越的工藝一致性。該系統在整個內室中創建一個均勻的氣體流速,並在恒定的處理時間內保持晶圓上的設定溫度分布。它還減少了電線阻力、表面變形以及其他由氦氣流動引起的誤差來源。KOKUSAI DJ-805能夠達到最高溫度和爐容,容量大,機械操縱範圍大。它最多可以處理10個晶圓。其先進的腔室設計也減少了排放,有助於優化氮化工藝。該裝置還具有高性能的熱循環泵,以保持溫度均勻性。溫度梯度的精確補償有效地穩定了晶圓溫度。它還有助於保持爐膛內的氣氛。該裝置配有高效、先進的熱交換器和溫度報警系統,確保保持最高極限溫度。它還有一個緊急關停開關和一個大型液晶顯示屏,方便使用。DJ-805擁有最高的質量控制,因為每個設備都經過了良好的檢查和測試。設備經過三個步驟的過程,每個步驟都經過檢查,以確保可靠的性能和高效的操作。KOKUSAI DJ-805非常適合需要其半導體器件可靠工藝結果的用戶。該裝置提供增強的工藝均勻性、均勻的氣流、溫度穩定性、高溫範圍和高效的操作,以確保高質量和高性能。它還易於操作,使其成為專業人員和實驗室的最佳選擇。
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