二手 KOKUSAI DJ-813 #141295 待售

KOKUSAI DJ-813是為晶圓加工應用而設計的擴散爐及配件，包括金屬沈積和介電蝕刻。該爐具有多種工藝組合，加熱和不加熱晶圓處理，水平熱壁式，最多兩個工藝序列。DJ-813裝有13英寸的石英管，用於擴散加熱和冷卻。這種管子的設計是以最小的變化達到溫度均勻性.框架、溫度區和功率區結構也有助於保持溫度均勻，非常適合低溫處理。相鄰的晶圓處理器是可調的，一次最多可容納四個晶圓。KOKUSAI DJ-813既可用於金屬沈積，也可用於介電蝕刻。控制器軟件旨在優化整個序列的過程條件。采用隨附的模擬或數字PID控制器實現高精度溫度控制。電源具有多個輸出,並具有高頻IGBT發生器,使其能夠在低背景噪聲的情況下達到更高的工藝溫度。該爐還包括一個可編程計時器、門攪拌器和多個晶圓蓋。蓋子為加工化學品提供氣密密封，防止交叉汙染。門攪拌機允許精確的化學混合，減少汙染的風險。該計時器可用於多個自動啟動和自動停止操作,從而減少了手動幹預的需要。總體而言，DJ-813是一個高性能的擴散爐和配件套件，能夠低溫處理和多工藝組合。它是晶片加工應用的理想解決方案，提供快速、精確的溫度控制、均勻性和晶片處理。