二手 KOKUSAI DJ-813V #293652777 待售

KOKUSAI DJ-813V是專門為滿足半導體、光伏太陽能電池等行業最先進的技術需求而設計的擴散爐及配件。這種單晶圓、低溫的工藝提供的增長率是傳統系統的三倍,其質量相當於行業領導者的質量。該爐配備了先進的工藝控制，實現了精確、可重復的效果。它提供模塊化設計,使用戶可以靈活地將自己的食譜歸檔到最多4個區域的4個階段。DJ-813V有一個石英管，該石英管由安裝在風冷卡盤中的兩個自調節爐元件加熱，使加熱過程達到1350 °C。它能夠精確控制擴散溫度，產生精細精確的溫度剖面。氣體分配設備允許均勻的氣體流動和均勻的反應物分布。為了保持爐子的清潔和效率，可以手動裝載和卸載能夠運輸多個4英寸晶片的石墨船。石英管門還安裝了一個可選的接近傳感器，以幫助防止晶圓過於接近高溫。內室還配備了報警系統，萬一溫度超支，將自動關閉機組。為了提高安全性，這種高性能擴散爐安裝了改進的、堅固的石英管結構和PID控制，從而最大限度地減少了室內溫度的變化。最後但並非最不重要的是，KOKUSAI DJ-813V配備了多種接口和通信端口，如EtherNet/IP、ModBus和USB，允許用戶訪問系統進行遠程編程和數據記錄。觸摸屏控制器可以輕松瀏覽機器並輸入配方。通過這種設置，用戶可以安全地訪問和控制他們的爐子無論他們在哪裏，而不犧牲性能。