二手 KOKUSAI DJ-815V-8L #293623306 待售

KOKUSAI DJ-815V-8L是為半導體器件的高效加工而設計的擴散爐及配件。設備提供了一系列好處,包括提高靈活性、改進性能和節能。該爐設計有一個簡單的垂直腔室，配有背面冷卻系統。該設計允許快速的溫度變化和有效的熱分布，從而縮短加工時間。真空輔助機械化樣品加載的使用減少了循環時間，提高了工藝產量。該單元的控制機器通過用戶定義的配方、數據記錄和直觀的圖形用戶界面提供了靈活性。KOKUSAI DJ 815V-8L還具有自動加熱和冷卻功能。這樣可以實現更一致的熱剖面,並通過在工藝室內保持穩定的溫度來最大化循環時間。該工具具有高度精確和穩定的溫度控制器,可達到± 0.3 °C的精度。腔室的垂直設計也保證了熱量分布均勻，不需要樣品旋轉。該資產還配備了工藝註氣設計。該工藝氣體註入使多步驟處理同時進行，減少了循環時間，提高了效率。這對於需要合金化、氧化物沈積和蝕刻等多個階段的工藝尤其有益。DJ-815-V-8L旨在減少停機時間並降低擁有成本。該型號的設計便於維護,可實現快速、方便的維護。該爐還配備了診斷監控設備，可快速檢測故障並簡化維護任務。總之，DJ-815V-8L是一個精心設計的擴散爐及附件系統。它是一種靈活、高效、經濟高效的高容量半導體處理解決方案。提高的靈活性、改進的性能和節能的結合使該設備成為滿足行業需求的一個有吸引力的選項。