二手 KOKUSAI DJ-815V #179734 待售

KOKUSAI DJ-815V
ID: 179734
Diffusion Furnaces.
KOKUSAI DJ-815V是晶圓級電子器件預處理制造的高溫擴散爐及配件。適用於氧化、擴散、驅動等多種預處理步驟。爐子一次最多可容納8個加載的晶片,可以在整個工藝區域提供均勻的溫度分布。它提供了一個大腔室,能夠在加工過程中維持高達約1500 °C的溫度。過程室內的大氣壓範圍從大氣壓到增壓到0.93MP。DJ-815V可與各種附件集成,包括脫氣、氣體歧管、氣體混合器、符合特定用戶要求的定制制造附件,以及支持基於等離子體的絕緣工藝的小型射頻發生器。為保證高溫精度和均勻性,配備了堅固、強制對流的機構和高效的加熱元件。該裝置還設計了一個集成氣體面板,並配備了高效的安全系統和一個獨立的過溫保護裝置。KOKUSAI DJ-815V的尺寸為480mm(寬度)x 575mm(深度)x 1150mm(高度),腔室尺寸為350mm(寬度)x 450mm(深度)x 750mm(高度)。它能夠產生低泄漏功率的1.2kW,通過三個獨立可控的加熱元件促進整個工作室的溫度分布。此外,它還配備了多段熱循環程序,允許用戶為預處理批次的不同步驟配置不同的溫度和停留時間。DJ-815V是一種可靠、多用途和高效的擴散爐,非常適合芯片制造商和相關公司,它們需要具有多種功能和安全過程控制的高溫擴散爐。它堅固的結構和全面的功能使其成為涉及大量設備的復雜集成和預處理的任何過程的絕佳選擇。
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