二手 KOKUSAI DJ-835V #9309559 待售

KOKUSAI DJ-835V是一種用於生產和研發的擴散爐設備.這一高性能系統旨在滿足許多行業領先的半導體器件生產商的需求。該單元由不同的部件組成，包括擴散爐和附件，用於均勻和精確的熱過程。擴散爐提供1200 °C的最高溫度和4區溫度控制設計，以確保整個過程中熱特性的精確均勻性。廣泛的調整範圍包括高溫熱擴散、高溫退火和快速熱退火（RTA）。用戶可以選擇每分鐘50°C至1000°C的不同加熱速率。然後將精確控制的溫度保持在2°C ±的精度。KOKUSAI DJ 835V通過5,000W加熱能力配備了巨大的6000。單元內內置了不同的熱區大氣控制系統，為不同類型的設備制造過程提供受控環境。這些包括氮氣、形成氣體、幹氧和氫氣。冷卻機采用高效換熱裝置，在制造過程中為晶片提供快速可靠的冷卻。其他工具部件包括高溫、水冷電磁屏蔽、高溫水冷排氣系統。該爐還被設計為利用高效氣體註入資產，防止顆粒、液滴和有機殘留物到達加熱室，從而最大限度地減少汙染。該模型為過程監測和控制提供了高效的數據采集。這包括包含以太網通信接口的控制設備。用戶友好的GUI允許用戶輕松準確地監視流程參數。該系統還結合了配備自動晶圓對準功能的先進機器人分配單元和噴嘴真空機，以確保晶圓的精確放置。DJ-835V工具旨在提供可靠的熱過程，並取得可靠和統一的結果。