二手 KOKUSAI DJ-853 #155816 待售
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ID: 155816
Diffusion oxide furnaces
N2, O2, N2O, H2, HCL Process gas
Halpox Process
1999 vintage.
KOKUSAI DJ-853是為敏感半導體器件制造應用而設計的高性能擴散爐。它能夠接受直徑達八英寸的晶片,工作溫度範圍方便,為-20°C至1200 °C。DJ-853有一個均勻的加工室,內有不透水的氧化鋁襯裏,並用鐘形蓋子密封。主動起重設備確保運動一致,加熱器位置精確,保證供熱配電均勻。氮和氫的飽和蒸氣壓很容易控制,以提供超低熱原氣氛。加熱器可以通過手動編程操作,也可以采用可編程參數的自動模式操作。除了擴散功能外,KOKUSAI DJ-853還具有多項安全功能,可提高用戶保護。加熱器采用Bakelizer系統設計,該系統使用小型、低瓦數的陶瓷隔熱板抑制排放,以保護用戶免受高頻輻射。一個大的,耐用的石英窗口可以方便地在任何時候查看工藝室。夾具和鐘蓋由堅固的純銨材料構成,並配有高性能溫度感應電路,以確保密封。板載電源采用動態電流調節特性,即使在線路電壓波動的情況下也能保證加熱穩定。DJ-853還配備了廣泛的配件,以支持其擴散功能。其中包括防振動工作架和防止樣品移位的固定裝置;最多可支撐三個爐子的手推車安裝系統;確保卸載前快速冷卻的離線冷卻裝置;以及允許同時控制多個爐子的多爐控制機器。此外,KOKUSAI DJ-853擁有強大的軟件包,具有直觀的操作、數據分析和工具診斷功能,可對用戶過程進行全面分析。總之,DJ-853是一種可靠的熱處理工具,非常適合要求苛刻的半導體器件制造應用。它提供了卓越的擴散功能、卓越的安全功能以及全面的附件,從而提高了用戶的便利性。
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