二手 KOKUSAI DJ-853 #293805539 待售

KOKUSAI DJ-853擴散爐，由KOKUSAI Electric Corporation生產，是一種全自動擴散爐，具有6英寸方室，適合生產廣泛的擴散工藝。該設備的設計符合成本效益、效率和易操作性，提供高質量和可靠的結果。它具有從後側裝載的高溫石墨晶片船，以及在擴散過程中維持晶片的石墨kapton支撐模塊。DJ-853擴散爐裝有皮帶驅動的爐輸送機，該輸送機將晶片自動送入爐室。溫度控制通過兩個熱電偶調節，一個在腔內，一個在室外，為矽片和石墨片船提供精確穩定的溫度。另外，二次氧化系統為每個工藝提供所需的氧化水平。該單元具有單面加熱能力，晶圓背面有一塊1.25英寸寬的石墨加熱器塊可供選擇。這種加熱器塊是可拆卸的，允許調整對準，因此在整個加熱過程中達到完美的均勻性。此外，該機兼具低壓（降至0.5 Torr）和高壓（高達15 Torr）操作能力。為了獲得最大的晶片到晶片的重復性，對工藝氣體進行重力進料。為了進行監控，KOKUSAI DJ-853工具擁有先進的監控資產，其中包括用於顯示流程進度和狀態的12英寸液晶面板。該模型還包括一個提供實時過程數據跟蹤的排氣監測設備，以及一個隨時確保均勻性的晶片檢查系統。此外，還有一個內置的熱導率監測裝置，用於防止底切和確保晶圓級優化。綜上所述，DJ-853擴散爐是一種用於高精度矽片擴散過程的全自動、最先進的機器。該工具包括先進的監測系統、高溫石墨晶片船、精確的工藝氣體輸送資產和可調節的單面加熱能力，以確保最大質量和準確性。成本效益高，操作方便，是廣泛生產光伏器件的理想解決方案。