二手 KOKUSAI DJ-853V-8BL #86153 待售

ID: 86153
Furnace for SI3N4.
KOKUSAI DJ-853V-8BL是一種為半導體和航空航天工業大批量生產而設計的擴散爐。其先進可靠的工程提供卓越的熱均勻性和過程穩定性,使客戶能夠達到最大的設備產量和質量。使用大型腔室和內置旁路,用戶可以最大限度地提高材料效率,同時降低能源成本並提高吞吐量。爐的可變空氣控制設備允許用戶調整工藝參數,以優化設備性能。KOKUSAI的氧化能力DJ853V-8BL支持操作人員和工藝靈活性,使矽、鎢和鋁材料得到加工,並獲得一流的設備性能。其溫度和晶圓寬度分別在100°C至900°C和12英寸(304mm)至200 mm之間。此外,其先進的加熱器設計和均勻性控制保證了精確的溫度控制和穩定性.此外,其動態壓力控制和真空排氣設施提供了巨大的工藝能力。在無障礙方面,DJ-853V-8BL附有流程控制和監控系統,以及一個手動遙控面板,用戶可以微調參數。使用集成的用戶友好界面,熔爐提供了清晰的操作說明和操作指示。該爐的供熱和排氣系統由優秀的加熱器組成,結合先進的自動調平晶圓放置/去除裝置和保證最小熱損害的傳遞棒系統。隨著無刷直流電動機裝置的不斷、可靠的運行,擴散爐的維護也非常容易。DJ853V-8BL符合CE標準,同時其安全措施確保操作過程中的最大安全。先進的石英玻璃門和聯鎖機設計,防止氣體和液體泄漏。它還有一個自動卡式裝載機工具,能夠快速裝卸基板。此外,該資產還采用了深石英管,以增加保護和高效加工。總體而言,KOKUSAI DJ-853V-8BL是一個理想的擴散爐對於那些尋找一個有效和可靠的解決他們的生產過程。其先進的工程、自動化功能和安全措施使用戶能夠實現高質量的流程和最佳的產量。
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