二手 KOKUSAI DJ-853V-8BL #9309570 待售

KOKUSAI DJ-853V-8BL
ID: 9309570
晶圓大小: 8"
優質的: 2004
Furnace, 8" High Temperature Oxide (HTO) 2004 vintage.
KOKUSAI DJ-853V-8BL是一種用於半導體制造過程的擴散爐和配件。它具有陽極氧化鋁真空室和堅固的高溫和高真空應用設計。這使得小分子能夠從原料向底物的最佳擴散,從而形成均質塗層。它提供高達1600°C的最高工作溫度,腔壁厚度為200毫米。KOKUSAI DJ853V-8BL采用電阻焊接水冷鋼架密封,采用電磁快門控制設備。這樣可以精確調節腔室溫度和優異的溫度均勻性。它還具有旋轉式葉片泵和紅外吸收氣體分析儀的多級真空系統,以提供高效的疏散過程。為了提高操作員的安全,DJ-853V-8BL配備了一個警報裝置,在發生異常溫度變化時將關閉機器。此外,它還設有一個硬化礦物玻璃窗,可以在不損害真空完整性的情況下目視觀察擴散過程。DJ853V-8BL可以通過用戶友好的觸摸面板顯示器進行監督和控制。它能夠存儲多達500種工藝配方,並為用戶提供在屏幕上控制熱量和熱擴散的能力。它允許用戶精確控制室內的氣體大氣,最多支撐四種氣體,最大壓力為0.2 atm。KOKUSAI DJ-853V-8BL提供了各種各樣的擴散和熱過程,並專門為滿足不同的擴散和熱要求而設計。適合摻雜劑插入、熱處理、快速熱處理、快速退火等應用。也適用於半導體器件、平板顯示基板、激光二極管、磁感應器等相關元件的制造。
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