二手 KOKUSAI DJ-853V #293596350 待售

KOKUSAI DJ-853V
ID: 293596350
晶圓大小: 8"
Diffusion furnace, 8".
KOKUSAI DJ-853V是一種先進的擴散爐和輔助設備,設計用於半導體制造和其他材料加工應用。它提供了一系列功能,以確保在苛刻的生產環境中可靠高效地運行,例如溫度和時間控制的溫度配置文件控制、計算機控制的生產管理以及遠程系統監控。KOKUSAI DJ 853V具有強大而高效的直流電(DC)電阻加熱單元,可在整個工作室內實現精確的溫度控制和出色的溫度均勻性。加熱機采用高檔陶瓷絕緣材料,在廣泛的溫度和工藝時間內提供堅固可靠的性能。還提供外部供氣和供氣控制的備選方案。DJ-853V能夠產生高度精確的溫度剖面,控制在1°C ±以內。它提供了多達六個獨立的程序,用於溫度剖面和時間控制的溫度剖面控制,從而在整個加熱周期中實現精確的溫度控制。實驗室級數控溫度控制器可確保對可重復加熱、冷卻和維護溫度設置進行可靠、準確的控制。DJ 853V配備了高質量的真空泵和變流式供氣工具,可實現準確一致的真空水平和氣體流速。該資產還包括一個可變半徑鉬船模型,允許處理截然不同的晶圓尺寸,而無需切換出船只。KOKUSAI DJ-853V還提供了廣泛的計算機控制的生產管理功能,如實時溫度監測、過程記錄、遠程設備監測和分析,以及強大的配方生成和管理功能。這使它能夠實時采樣和分析產品數據,並根據需要對生產周期進行調整,以確保產品的最佳性能和產量。為了最大限度的安全和操作員友好操作,KOKUSAI DJ 853V配備了一系列安全功能,如自動聯鎖、泄漏傳感器、超壓傳感器以及具有多級報警級別的自動關閉系統。結合堅固的結構和先進的溫度控制能力以及方便的自動控制特性,DJ-853V是精密生產應用的理想擴散爐及附件系統。
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