二手 KOKUSAI DJ-853V #293648859 待售

KOKUSAI DJ-853V是一種擴散爐和輔助設備，旨在提供準確有效的半導體元件制造手段。該系統由一個主單元、一根電源電纜和一個帶有觸摸屏顯示的控制單元組成。KOKUSAI DJ 853V有一個直徑8英寸的腔室，可以處理最多5英寸的晶片。腔室由高純度石英管構成，並用特殊的氣密密封密封。這樣可以確保有效的溫度均勻性和快速的響應時間。該裝置能夠控制高達1250 °C的溫度，最大加熱速率為500 °C/分鐘。該機還具有一個兩區溫度控制工具，自上而下都有獨立的溫度控制。該資產還具有各種工藝選項，旨在促進半導體元件的高效和準確制造。其中包括兩級硫化工藝、原位加熱退火工藝和低壓快速熱退火（RTA）工藝。硫化過程包括層分離過程和不同擴散過程。原位加熱退火過程減少了組件的熱預算。低壓RTA工藝可用於最大限度地減少矽在加工過程中的熱擴散。DJ-853V還包括各種安全功能。其中包括溫度過高保護（OTP）模型、可編程安全控制器和緊急停止按鈕。OTP設備監視系統溫度範圍,以確保安全運行。可編程安全控制器監視設備的操作參數，而緊急停止按鈕則允許用戶在緊急情況下快速關閉機器。DJ 853V還具有緊湊高效的設計,允許在實驗室中占用較小的空間。該工具還具有廣泛的可自定義功能,允許用戶根據其特定的制造需求定制資產。該型號還與各種配件兼容，使其成為學術和工業環境的理想解決方案。