二手 KOKUSAI DJ-853V #9048140 待售

KOKUSAI DJ-853V
ID: 9048140
SiON LPCVD furnaces Configured with DCS/NH3/N2O High temp transformer, 1200°C.
KOKUSAI DJ-853V是一個尖端的擴散爐和配件,設計用於高精度的應用,需要一致和準確的處理結果。這種先進的熔爐非常適合微電子和光電工業的應用,在那裏需要對加工參數進行精確的控制。KOKUSAI DJ 853V以輻射型鹵素燈為熱源,發射以530 nm波長為中心的光譜。燈發出的近乎完美的光譜使爐子能夠產生準確的結果,而無需補償影響燈溫度和光譜分布的固有偏移。此外,這種擴散爐使用反射器將發射的光集中到基板上,以確保高精度的過程。這種反射光使基板能夠接收到確切數量的光能,從而以最小的輪廓降解為精確結果做出貢獻。為確保精確的溫度控制,DJ-853V還配備了一套最頂端的溫度控制系統。這個系統使用熱電偶和PID(比例積分導數控制器)來調節溫度。熱電偶測量基板的溫度,同時使用PID控制器調節鹵素燈的溫度。此外,該擴散爐還配備了控制所有工藝參數的先進計時器。它提供準確和可靠的時間表,並允許持續的過程。此計時器還能夠記憶最後使用的參數,允許用戶輕松恢復之前執行的處理作業。為了保證安全和高質量的工藝,DJ 853V配備了臭氧產生保護系統,防止臭氧的形成,從而對基質產生不利影響。最後,KOKUSAI DJ-853V可以安裝在排氣室中,以便於集成。它還具有直觀的控制面板和用戶友好的操作顯示器。總而言之,KOKUSAI DJ 853V是一個強大的擴散爐和配件,能夠在非常高的水平提供精確的結果。它利用先進技術確保過程參數的一致性和準確性,使用戶能夠輕松地、自信地執行精確的過程。
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